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生产型收放卷涂布机

光刻胶晶圆光电涂布机

光刻胶晶圆光电涂布机,支持非标定制,一对一出方案。

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功能模式:狭缝、微凹、刮刀
设备尺寸(mm):3000*1600*2000
基材宽度(mm):20-350
涂布速度(m/min):Max.30
涂布湿厚(mm):0.005-0.3
涂布溶液固含量(%):1-60
涂布溶液粘度(cps):1-10000
烘箱温控(℃)20-120


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